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上海光機(jī)所EUV和X射線波段的三維陣列焦點(diǎn)成像研究取得進(jìn)展

上海光機(jī)所高功率激光物理聯(lián)合室實(shí)驗(yàn)室張軍勇課題組首次將古希臘梯子映射到納米結(jié)構(gòu)中,以解析的數(shù)學(xué)形式完整描述了三維陣列焦點(diǎn)成像的方法,通過數(shù)論解決了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的初始化問題。

  在特定條件下,該結(jié)構(gòu)的M*N維可以降到1*N維,借助代數(shù)定理過渡到廣義Fibonacci結(jié)構(gòu)。相比于后者,前者的多層焦面之間的距離更容易實(shí)現(xiàn)微米和納米級(jí),因此更易用于生物細(xì)胞成像、顯微、光刻等領(lǐng)域。而廣義Fibonacci結(jié)構(gòu)的多層焦面之間的距離更易具有宏觀尺度,故此在長波段更易用于光學(xué)顯示、虛擬投影技術(shù)、激光加工、激光分束、光束合成等。利用不同的波段可以實(shí)現(xiàn)從微觀到宏觀距離的自由調(diào)控。

  在可見光波段,通常利用浮雕技術(shù)調(diào)控光束的波前位相,但這種技術(shù)方案在EUV和X射線波段很難實(shí)現(xiàn)。課題組巧妙地將位相調(diào)制映射成空間位置的坐標(biāo)函數(shù),實(shí)現(xiàn)了振幅調(diào)制到位相調(diào)制的功能轉(zhuǎn)換,從而解決了短波長及X射線波段的位相調(diào)制問題,為X射線和EUV的多點(diǎn)聚焦和陣列成像提供了一個(gè)新思路。該技術(shù)能夠用于X射線到毫米波的衍射成像和波前調(diào)控。

  該項(xiàng)研究得到了國家自然科學(xué)基金的支持。上述相關(guān)工作已發(fā)表在學(xué)術(shù)期刊Opt. Express [Opt. Express, 23,23, 30308-30317, 2015]。

           

  圖1 (上) 雙層矩形陣列焦斑;(下) 雙層環(huán)形陣列焦斑

  圖2 四層混合陣列焦斑


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