近日，由沈陽儀表院承擔(dān)的遼寧省科技創(chuàng)新重大專項(xiàng)“高精密激光劃片機(jī)工藝技術(shù)及裝備研究”順利通過驗(yàn)收，成功研制出國內(nèi)先進(jìn)的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機(jī)，填補(bǔ)了國內(nèi)空白。

據(jù)了解，項(xiàng)目組歷時(shí)四年，突破了一系列的技術(shù)瓶頸，在水束光纖耦合、高精密運(yùn)動(dòng)控制等一系列關(guān)鍵技術(shù)和工藝方面取得重大突破，對(duì)誤差擬合和實(shí)時(shí)補(bǔ)償、視覺對(duì)準(zhǔn)、激光與微水束對(duì)準(zhǔn)、設(shè)備可靠性分析、微水束激光加工等技術(shù)和工藝進(jìn)行了研究和應(yīng)用，開發(fā)了專用控制系統(tǒng)軟件，成功研制出國內(nèi)先進(jìn)的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機(jī)。

目前，項(xiàng)目產(chǎn)品正在中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所示范應(yīng)用，總體運(yùn)行穩(wěn)定。