面對我國智能制造2025戰(zhàn)略，具有戰(zhàn)略目光的科學(xué)家，臥薪嘗膽，不斷突破與掌握系列核心技術(shù)，發(fā)展激光增材制造、超快激光減材加工、激光直寫等柔性制造工藝，在三維微結(jié)構(gòu)器件、微機(jī)械、微光學(xué)、醫(yī)學(xué)功能材料、光纖傳感、工業(yè)芯片等方面具有多樣化、成套完善的制造能力，依靠我國自主知識產(chǎn)權(quán)的表面三維微觀形貌測量儀，才能成功提升和完善成套制造工藝的智能制造裝備。

南京理工大學(xué)高志山教授課題組，在國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)和國防技術(shù)基礎(chǔ)科研項(xiàng)目的資助下，在三十余年的干涉計(jì)量測試儀器與關(guān)鍵技術(shù)技術(shù)儲備基礎(chǔ)上，經(jīng)過六年對顯微干涉測試技術(shù)的技術(shù)攻關(guān)，完全掌握了大視場\長工作距干涉顯微物鏡光學(xué)設(shè)計(jì)、計(jì)算機(jī)輔助裝校技術(shù)、批量化生產(chǎn)成套工藝、寬譜低相干垂直掃描相位復(fù)原\窄譜帶移相算法、矩形臺階蝙蝠翼效應(yīng)抑制技術(shù)等系統(tǒng)核心技術(shù)，擁有成套核心自主知識產(chǎn)權(quán)，編制了用戶友好型中文操作軟件，研制成功了光機(jī)電算一體化的寬譜低相干三維微觀形貌顯微干涉測試與分析系統(tǒng)。2018年榮獲國防技術(shù)發(fā)明二等獎。

系統(tǒng)配置5X邁克爾遜型(Michelson)、10X、20X、50X米勞型（Mirau）干涉顯微物鏡組件；工作波段：可見光（可根據(jù)用戶要求定制）；圖像分辨率：1kx1k；軸向分辨率0.1nm；軸向量程最大100µm。與原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡等其它非接觸式測量方法相比，白光顯微干涉測試技術(shù)在測量速率和成像視場上更具優(yōu)勢。與美國的Zygo公司、Veeco公司，英國的Taylor Hobson公司的同類產(chǎn)品相比，技術(shù)指標(biāo)相當(dāng)。

圖1 三維微觀形貌顯微干涉測試儀及系列倍率顯微干涉物鏡

圖2 三維微觀形貌顯微干涉測試儀軟件操作界面

圖3 典型樣品的表面微觀形貌測試結(jié)果