日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所（以下簡稱“產(chǎn)綜研”）與東京大學(xué)物性研究所的小林洋平教授等人構(gòu)建了超短脈沖激光加工開放創(chuàng)新平臺（Ultra-short pulse Laser Processing Open innovation Platform：ULPOP），可以利用從深紫外光到可見光和近紅外光波長范圍的飛秒激光。由此，通過以生物醫(yī)用材料等多種材料為對象，探索和優(yōu)化能實現(xiàn)高精細(xì)加工的加工參數(shù)（激光波長、脈沖寬度、光斑直徑、照射強度、重復(fù)頻率等），可以對高精細(xì)加工進(jìn)行驗證。最終有望進(jìn)一步促進(jìn)激光加工技術(shù)的工業(yè)應(yīng)用。

圖1：超短脈沖激光加工開放創(chuàng)新平臺（ULPOP）的概要

該平臺為了能探索和優(yōu)化針對各種材料及加工類型的加工參數(shù)，建立了由自主設(shè)計的2種飛秒激光和2種通用納秒激光構(gòu)成的加工系統(tǒng)（圖2）。圖1的飛秒激光①可以選擇4種波長，除了作為基波的800nm中心波長外，還包括通過非線性晶體產(chǎn)生的400nm、266nm和200nm中心波長。其中，266nm和200nm的飛秒激光作為可用于材料加工用途的高強度平臺化激光在全球尚無前例。脈沖寬度可在50——2000飛秒的范圍內(nèi)變化（部分除外）。飛秒激光②能利用光參量放大器將波長為800nm的光轉(zhuǎn)換為近紅外光（1100——2300nm）的波長進(jìn)行利用。納秒激光①和納秒激光②分別可以利用355nm和266nm的波長。