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大族激光:研發(fā)光刻機,今年有望實現(xiàn)小批量銷售
材料來源:科技最前線           

近日,互動平臺有投資者提問大族激光:公司在光刻機領(lǐng)域目前都有哪些研究進展?與國內(nèi)哪些光刻機廠商有哪些合作?

對此,大族激光回復(fù)表示,公司在研光刻機項目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等領(lǐng)域的應(yīng)用,今年有望實現(xiàn)小批量銷售。

據(jù)悉,大族激光是亞洲最大、世界排名前三的工業(yè)激光加工設(shè)備生產(chǎn)廠商,主要產(chǎn)品包括激光打標(biāo)機系列、激光焊接機系列、激光切割機系列、新能源激光焊接設(shè)備、激光演示系列、PCB鉆孔機系列、工業(yè)機器人等多個系列200余種工業(yè)激光設(shè)備及智能裝備解決方案。

眾所周知,高端芯片制造所需的光刻機一直以來被荷蘭ASML公司壟斷,一臺精密光刻機售價上百億,而我國半導(dǎo)體行業(yè)起步較晚,光刻機技術(shù)與ASML的差距非常大。而近年來,“國產(chǎn)芯片”概念炙手可熱,其中光刻機作為中國半導(dǎo)體的短板,更是大眾關(guān)注的焦點。目前,已有不少公司加大投入研發(fā)光刻機,努力填補我國在高端光刻機領(lǐng)域的空白。


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