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據(jù)了解,德國工業(yè)機(jī)械制造公司Trumpf與中國臺灣地區(qū)工業(yè)技術(shù)研究院(ITRI)簽署諒解備忘錄,將在臺南地區(qū)建立一個(gè)激光制造中心,預(yù)計(jì)將于明年投入運(yùn)營。
從產(chǎn)業(yè)鏈分布來看,中國臺灣地區(qū)在半導(dǎo)體代工、半導(dǎo)體制造、電子制造及測量等領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)規(guī)模較大,對于先進(jìn)加工工具的需求旺盛。該激光制造中心的設(shè)立,將有助于Trumpf進(jìn)一步拓展半導(dǎo)體及電子領(lǐng)域市場應(yīng)用。 除了機(jī)械加工設(shè)備之外,Trumpf公司還是世界三大激光源制造商之一,也是荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML的極紫外光刻系統(tǒng)的主要供應(yīng)商。 據(jù)了解,2015年ASML向Trumpf公司訂購了15臺EUV光刻工具,Trumpf公司也多次表示將積極布局極紫外激光器,其投資了7000萬歐元在德國迪琴根建設(shè)一座占地34000平方米的工廠,主要用于生產(chǎn)極紫外光刻所需要的激光器產(chǎn)品。 此外,Trumpf公司還收購Access Laser公司85%股份。Access Laser公司主要生產(chǎn)高精密低功率 CO2激光器用于極紫外光刻(EUV),這也是Trumpf公司主要的投資方向之一。作為光源,該CO2激光器和通快激光放大器共同部署于EUV系統(tǒng)。Trumpf公司表示,通過此次收購將整合EUV技術(shù)供應(yīng)鏈領(lǐng)域關(guān)鍵成員。
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