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光束聚焦在技術光學的許多領域都有著重要的作用。一個具有合適焦距的單透鏡是最簡單的解決方案。但單透鏡不夠,因為曲面需要重新定位焦點。為了避免復雜的運動,所謂的f-theta透鏡被設計用來補償這種位置偏移,并提供一個均勻的圖像區(qū)域。 此外,它們在整個掃描平面上具有一致的光斑大小。遠心是在工作平面上提供垂直入射的一種選擇。此外,希望使用大掃描區(qū)域,因為它們允許在不移動目標或光學單元的情況下處理較大的工件。 幾年來,Sill Optics提供100 mm焦距的S4LFT4010系列。這組f-theta透鏡適用于從UV到IR的不同波長區(qū)域,為增加注量提供了相對較小的光斑尺寸。S4LFT4125/075是紫外線激光的增強版,所有透鏡元件均由熔融石英構成。掃描面積由35 mm x 35 mm提高到50 mm x 50 mm。盡管焦距更高,但在整個掃描區(qū)域內(nèi),輸入光束直徑為10 m m的情況下,可達到8 μm(1/e平方)的焦點光斑。S4LFT4126/292(515 nm– 545 nm)和S4LFT4127/328(1030 nm– 1090 nm)是焦距為125 mm的掃描鏡頭的另外兩個選項。 此外,Sill Optics還推出了一系列65 m m焦距的紫外(S4LFT4067/075)、綠色(S4LFT4066/292)和紅外(S4LFT4065/328)激光器,提供了15 mm x 15 mm的幅面尺寸,以達到3 μm(紫外)到10 μm(紅外)范圍內(nèi)的光斑尺寸。 所有系列均采用熔融石英透鏡和我們的行業(yè)證明的低吸收涂層。當然,在透鏡元件或掃描鏡上沒有內(nèi)部重影,因此它們與短脈沖激光兼容。新透鏡系列的衍射限制為指定的輸入光束直徑。
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